半導(dǎo)體裝備制造業(yè)是為我國集成電路和半導(dǎo)體器件行業(yè)提供工藝裝備的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),是提升我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造能力的高端裝備制造產(chǎn)業(yè),也是國家支持的重大技術(shù)裝備產(chǎn)業(yè)。中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長金存忠向《中國電子報(bào)》記者表示,目前我國光伏設(shè)備以及LED設(shè)備目前已經(jīng)基本上全面本土化,集成電路設(shè)備目前相比較而言依賴于進(jìn)口較多。如今,如何快速發(fā)展本土半導(dǎo)體設(shè)備也成為人們關(guān)注的焦點(diǎn)。

中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)繼續(xù)保持快速增長

半導(dǎo)體設(shè)備主要包括集成電路設(shè)備、光伏設(shè)備、LED設(shè)備和分立器件設(shè)備。近年來,中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,市場(chǎng)規(guī)模逐步擴(kuò)大。據(jù)金存忠介紹,在2019年,中國半導(dǎo)體設(shè)備繼續(xù)保持快速增長,根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)國內(nèi)47家規(guī)模以上(半導(dǎo)體設(shè)備年銷售收入500萬元以上)半導(dǎo)體設(shè)備制造商2019年完成的主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)統(tǒng)計(jì)顯示:半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入完成161.82億元,同比增長30%;半導(dǎo)體設(shè)備出口交貨值完成16.35億元,同比增長2.6%;半導(dǎo)體設(shè)備制造商實(shí)現(xiàn)總利潤(含所有產(chǎn)品)27.13億元,同比增長26.7%。此外,2016年—2019年中國半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入年均增長41.3%,實(shí)現(xiàn)總利潤年均增長23.5%,出口交貨值年均增長27.8%。

此外,目前我國集成電路和光伏設(shè)備訂單增長較快,在2019年訂單基本處于飽和狀態(tài)的基礎(chǔ)上,今年上半年依然保持良好。同時(shí),SEMI數(shù)據(jù)顯示,2019年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到134.5億美元,占比全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的22.5%,位居全球第二。此外,在2019年整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)萎縮、全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額下降7%的大背景下,中國半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)需求仍然保持3%的增長?？梢娭袊雽?dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模之龐大。

高端設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨三大問題

與此同時(shí),由于集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)具備極高的門檻和壁壘,國產(chǎn)集成電路設(shè)備依然面臨著種種挑戰(zhàn)。金存忠介紹,目前中國集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)主要面臨著三大問題。首先,目前國產(chǎn)集成電路設(shè)備市場(chǎng)占有率較低。2019年中國集成電路設(shè)備在中國大陸市場(chǎng)占有率僅為10%左右。

其次,中國集成電路晶圓生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備(如光刻機(jī))仍需依賴于進(jìn)口,14nm制程國產(chǎn)集成電路晶圓生產(chǎn)設(shè)備2019年剛剛進(jìn)入產(chǎn)線量產(chǎn),落后2019年國際先進(jìn)的5納米量產(chǎn)生產(chǎn)線設(shè)備二代以上。此外,一些已進(jìn)入晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備中,有些設(shè)備與國際同類設(shè)備相比依然存在差距。

最后,目前國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵部件本地化進(jìn)程緩慢,進(jìn)口依賴度較大,集成電路晶圓生產(chǎn)設(shè)備關(guān)鍵部件進(jìn)口額占設(shè)備銷售額的30%～40%。例如,干泵、分子泵、機(jī)械手(潔凈、真空)、高溫加熱裝置(溫控器)、射頻電源、真空閥門等。

產(chǎn)業(yè)處于較好市場(chǎng)環(huán)境 廠商將提速擴(kuò)產(chǎn)

然而,隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造能力的提升,在一些問題逐漸迎刃而解的同時(shí)也迎來很多新的發(fā)展機(jī)遇。金存忠認(rèn)為,2019年國產(chǎn)集成電路晶圓生產(chǎn)線設(shè)備產(chǎn)業(yè)化發(fā)展迅速,集成電路晶圓生產(chǎn)線主要核心工藝設(shè)備已達(dá)到14納米量產(chǎn)水平,并且,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)也通過了生產(chǎn)線的驗(yàn)證。據(jù)預(yù)計(jì),2020年國產(chǎn)集成電路設(shè)備銷售收入將增長50%左右。

其次,平價(jià)上網(wǎng)的到來給太陽能電池設(shè)備也帶了很多新的發(fā)展機(jī)遇。2019年是太陽能發(fā)電平價(jià)上網(wǎng)的元年,先進(jìn)的PRCE晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設(shè)備受到市場(chǎng)的追捧成為光伏企業(yè)擴(kuò)產(chǎn)的首選,全自動(dòng)、智能化、大產(chǎn)能單晶硅生長和切片設(shè)備銷售也得到快速增長。2019年國產(chǎn)太陽能電池片生產(chǎn)設(shè)備銷售收入將繼續(xù)保持增長態(tài)勢(shì),同比增長40%。

最后,金存忠預(yù)測(cè),盡管受疫情影響,2020年第一季度半導(dǎo)體設(shè)備銷售情況一般,但是集成電路設(shè)備和太陽能電池片制造設(shè)備市場(chǎng)增長趨勢(shì)沒有改變,預(yù)計(jì)2020年中國主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入將達(dá)200億元左右,同比增長20%左右。此外,金存忠認(rèn)為,2020年國內(nèi)集成電路設(shè)備行業(yè)將處于較好的市場(chǎng)環(huán)境,中國大陸本土集成電路晶圓廠將擴(kuò)產(chǎn)提速,國產(chǎn)裝備將在2020年進(jìn)入較快發(fā)展時(shí)期。預(yù)計(jì)2020年集成電路生產(chǎn)設(shè)備將增長30%左右,銷售收入將超過太陽能電池片生產(chǎn)設(shè)備,達(dá)到90億元以上。